真空变压吸附(简称VSA)制氧装置，是在高钙交换的富氧专用沸石分子筛基础上开发的新型变压吸附制富氧设备。它的吸附压力已降到了接近大气压的程度，使得富氧能耗大幅度下降，单位能耗达到0.4~0.5Kwh，与全低压大深冷空分相当。无论在设备投资，还是在操作成本方面都具有较强的竞争力。从空气中吸附分离氧氮的基本原理，是基于沸石分子筛对氮的选择吸附。当空气进入分子筛床层后，优先吸附氮和其他杂质(二氧化碳和水分)，而氧则从床层通过，即可获得产品氧气。所谓变压吸附，主要是利用沸石分子筛在加压时对氮的吸附容量增加，减压(包括抽空)对氮的吸附容量减少这一特性，形成加压吸附、减压解吸过程。由三个吸附器组成的VSA制富氧装置，每个吸附器在一个周期中依次经历以下几个步骤：吸附、均压、抽空等等操作步骤。由PLC控制气动阀的启闭，三个吸附器交替操作，连续供给原料空气，连续产出富氧产品气。

　　该装置由鼓风机、换热器、过滤器、空气缓冲罐、吸附器和富氧缓冲罐、真空泵等设备组成。(见工艺流程图)。